aalborg气体质量流量计 美国aalborg, aalborg气体质量流量计, aalborg控制器 美国aalborg instruments & controls, inc成立于1972年，是世界上着名的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。 产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器 典型应用：cvd、pvd、刻蚀、等离子注入、溅射、ito、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。 设计特点： －刚性金属结构 －流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm －大压力500psig（34.5bar） －泄漏率1＊10-7气 －nist系统标定可追踪的证明 －可倾斜的lcd读表 －0-5vdc或4-20ma信号输出 －电路保护 －可用作便携式的设备 －0到100％比例显示 －可配备流量计算机 精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。 重复性：±0.5％满量程 回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒 温度系数：0.15％满量程／℃ 压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar） 气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃） 输出信号：0-5vdc，小1000ω。4-20ma、0-250ω回路电阻 传感器输出：＋12vdc；大200ω。＋24vdc可选 时间恒量：800ms 气体压力：大1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar） 流体接触面材质：a：gfc铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和橡胶圆环 b：gfc17s，37s，47s，57s，67s，77s不锈钢系列：316不锈钢、橡胶圆环可选丁橡胶圆环。 方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置 连接：gfc17和37：1／4"卡套螺纹vcr?或1／8"卡套可选（gfc17） gfc47：3／8"卡套螺纹 gfc57：3／8"卡套螺纹 gfc67：1／2"卡套螺纹 gfc77：3／4"卡套螺纹 vcr?或3／4"卡套可选（gfc77）